国产光刻机是哪个公司生产的1、国产光刻机是由多家公司生产的，包括但不限于中微半导体、上海微电子装备股份有限公司、北京华卓精科科技股份有限公司、杭州光珀智能科技有限公司以及北京科益虹源光电技术有限公司等。2、然而，当提到国产光刻机，上海微电子设备有限公司崭露头角，成为中国在这一领域的翘楚。上海微电